2024年1月4日,，三星電子正式宣布計劃到2030年實現(xiàn)其芯片工廠的完全自動化，無需人工操作,。為了達成這一雄心勃勃的目標(biāo),，三星電子已開始開發(fā)“智能傳感系統(tǒng)”，旨在提高產(chǎn)量并改變半導(dǎo)體工廠的運營方式,。該系統(tǒng)主要用于實時監(jiān)控和分析生產(chǎn)過程,，目前可以自動處理等離子體均勻性。
智能傳感系統(tǒng)是芯片工廠的完全自動化的重要組成部分,，預(yù)計將在使這些智能,、全自動晶圓廠成為現(xiàn)實的過程中發(fā)揮至關(guān)重要的作用,。三星目前正在向智能傳感器等項目投資數(shù)千萬韓元,，并希望獲得長期投資回報。
目前正在開發(fā)的智能傳感器旨在測量晶圓上等離子體的均勻性,。因為半導(dǎo)體制造中的蝕刻,、沉積和清洗等工藝的結(jié)果很大程度上受到等離子體均勻性的影響,，因此在這方面的精確測量和管理至關(guān)重要。該智能傳感系統(tǒng)的開發(fā)是團隊合作的成果,，涉及合作伙伴和學(xué)術(shù)機構(gòu)的合作,。這些新型傳感器的重要特點是它們的尺寸很小巧：可以安裝到現(xiàn)有的晶圓廠中，并且不需要額外的空間,，這在潔凈室中非常寶貴,。
有趣的是，智能傳感器的本地制造標(biāo)志著三星等韓國芯片制造商在技術(shù)自主性上的巨大突破,。目前,，這些公司嚴(yán)重依賴外國工具來實現(xiàn)先進工藝，但隨著智能傳感器本土制造的推進,，三星正邁向自主研發(fā)的新階段,。
在三星的計劃中，到2030年,，他們將擁有完全無人值守的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施,。這需要系統(tǒng)能夠管理大量的數(shù)據(jù),，并通過智能化手段自動調(diào)整設(shè)備性能。實現(xiàn)這一目標(biāo)將使三星在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中更具競爭力,，提高生產(chǎn)效率的同時,，減少對人工操作的依賴。
